EDI超纯水设备由于受EDI膜堆内离子交换树脂填充容量的限制，离子交换树脂在使用一段时间后会逐渐饱和，因此离子交换树脂须再生后方可继续使用。

超纯水制水设备DI用的膜和反渗透用的膜很不相同，反渗透用的膜允许小颗粒的分子污染物和离子以及水通过，而EDI膜象离子交换树脂一样是用聚苯乙烯材料制作的，只允许带适当电荷的离子通过，水基本上不能通过。树脂通过水的分离持续的再生。

EDI超纯水设备根据不同的源水水质采用不同的工艺。一般自来水经一级反渗透系统处理后,产水电导率10μS/cm,经二级反渗透系统后产水电导率5μS/cm甚至更低,在反渗透系统后辅以离子交换设备制备超纯水,使电阻率达到18兆欧（电导率=1/电阻率。